主要内容和产品(技术)要求:
1)光学非球表面零件车削与磨削工艺技术。中小规格零件的面型精度PV值达到1/4~1/10λ(λ为光波长度一般取λ=0.6828μm);大型零件的精度随面型形状不同,面型精度数值基本提升到现有的1/2左右
2)微结构阵列光学模具加工技术(包括:车削工艺、快刀伺服FTS工艺等)。表面粗糙度Ra小于8nm
实施目标:
在微米及亚微米级加工批量稳定生产的基础上,扩大亚微米加工技术应用,力争0.1~0.01微米超精密加工精度,在保证稳定性和可靠性的前提下,实施批量生产
加强纳米级加工技术和装备工程化水平,逐步使我国的精密及超精密加工技术接近并达到国际先进水平: