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产品信息
主要内容和产品(技术)要求
支持电子级高纯多晶硅等关键半导体材料的生产工艺改进,产品技术要求达到GB/T12963-2014电子1级多晶硅要求,实现工程化,并形成一定的产业化生产能力
实施目标
2016年实现9N产品小批量生产,持续推进电子级高纯多晶硅工程化,逐步提升集成电路用电子级高纯多晶硅产品技术水平
价格面议
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