主要内容和产品(技术)要求:
高档稀土抛光液,粉体CeO2含量≥99.9%,晶粒尺寸≤30nm,形貌接近球形;抛光液粒度D50=50nm~300nm,Dmax<500nm,有害杂质离子浓度<40ppm,硅晶片抛光速度≥100nm/min、表面粗糙度Ra≤1nm,高性能玻璃基片抛光速度≥25nm/min、表面粗糙度Ra≤0.5nm,达到或接近国外先进水平
实施目标:
建成高档稀土抛光液生产线,满足硅片及集成电路芯片、计算机硬盘、液晶显示屏、宝石、光学玻璃等特殊抛光需求,扭转我国相关产品依赖国外进口的不利局面